300 × 300 mm
150 s 内
01 / 产品定位
大面积表面快速三维测量
SA-1000 系列是一套大面积表面快速三维测量的线光谱光学测量系统。面向晶圆、透明层、陶瓷基片、电子元件及金属表面等多类样品，系统通过光谱共焦测量头与精密扫描平台连续采集，同步获取三维表面形貌、三维体层信息与二维强度数据。
对于既要快速查看整体表面，又要继续进行定量分析的检测任务，用户可在同一软件中选择测量区域，并对结构、粗糙度、波纹度、阶高与轮廓等表面特征进行分析，最终输出三维重建、反射图像和自定义报告。
02 / 扫描时间参考
不同区域的扫描时间参考
扫描区域扩大，测量时间依然清晰可预估。
400 × 400 mm
260 s 内
500 × 500 mm
350 s 内
以上为产品手册所列预计扫描时间。标准测量范围及实际扫描效率会受到平台配置、测量参数与样品状态影响，具体以实际方案为准。
03 / 成像数据
三类数据，一次获取
一次扫描同时获取三维表面形貌、三维体层信息与二维强度图像，让不同维度的数据保持在同一测量与分析流程中。
3D 表面形貌
获取样品表面的三维几何信息
3D 体层扫描
获取多层三维几何与三维强度信息
2D 强度图像
用于物体、纹理与缺陷观察
04 / 样品适应能力
不同样品，也能从容测量
针对不同反射特性和表面状态，系统具备不同的有效测量角度范围，为倾斜、粗糙及反射差异明显的样品提供更充分的数据获取条件。
镜面表面角度兼容参考
不透明或磨砂表面角度兼容参考
05 / 软件测量流程
少一步操作，更快得到结果
软件将全景导航、测量任务设置、数据采集、表面特征分析与报告输出连接在同一工作流程中，减少重复定位与参数重复设置。
- 导航器功能
- 创建快速全景图，并使用鼠标选择测量范围
- 模板功能
- 保存测量参数，用于重复或半自动测量任务
- 双向扫描
- 通过往返采集缩短测量时间
- 自由轮廓扫描
- 灵活设置测量区域的起点与终点
- 分析与报告
- 支持结构、粗糙度、波纹度、阶高与轮廓分析，并输出三维重建、反射图像及自定义报告
从表面数据，
到量化结果
SA-1000 系列完成表面数据采集后，可继续进行轮廓、直线度、截面面积、层厚、翘曲与共面性、粗糙度及阶高分析，将扫描结果转化为可比较、可记录的量化数据。
减少重复设置，
更快完成测量
软件将全景导航、区域选择、参数设置、数据采集、分析与报告输出整合在同一流程中。常用参数可保存为模板，并支持双向扫描与自由轮廓扫描，减少重复设置和不必要操作。
型号与配置
同一系统平台，两种测量侧重
SA-1000 与 SA-1100 属于同一系列，型号差异主要来自所配置的测量头。两款型号没有高低等级关系：SA-1000 更侧重横向细节与测量重复性，SA-1100 更侧重线长、量程与工作距离。用户应根据被测结构、覆盖范围和现场测量空间选择合适型号。
SA-1000
更细的数据间隔，适合关注细节与重复性的任务
SA-1000 配置 5.9 mm 线长、2.9 μm X 方向分辨率和 0.1 μm Z 方向可重复性，更适合关注横向细节、表面轮廓变化和重复测量一致性的任务。
其量程为 3 mm，工作距离为 16 mm，适用于测量范围较集中，并希望获得更细横向数据的表面与结构测量场景。
2.9 μm X 方向分辨率 · 0.1 μm Z 方向可重复性
查看 SA-1000 配置
SA-1100
更大的覆盖与量程，为测量保留更多空间
SA-1100 配置 10 mm 线长、6 mm 量程和 22 mm 工作距离，更适合重视单次线覆盖范围、高度变化范围和测量空间的任务。
其 X 方向分辨率为 4.9 μm，Z 方向可重复性为 0.4 μm，镜面下角度兼容性为 ±22°，适用于结构尺寸较大、起伏范围更明显或需要更宽裕工作距离的测量场景。
10 mm 线长 · 6 mm 量程 · 22 mm 工作距离
查看 SA-1100 配置技术参数
以下参数用于展示 SA-1000 与 SA-1100 两种测量头配置的主要差异及系列通用规格。
| 参数项目 | SA-1000 | SA-1100 |
|---|---|---|
| 测量头配置 | ||
| 线长（mm） | 5.9 | 10 |
| X 方向分辨率（μm） | 2.9 | 4.9 |
| Z 方向可重复性（μm） | 0.1 | 0.4 |
| 工作距离（mm） | 16 | 22 |
| 量程（mm） | 3 | 6 |
| 全量程下扫描速率（Hz） | 5000 | 5000 |
| 最大扫描速率（Hz） | 35000 | 35000 |
| X 方向点数 | 2048 | 2048 |
| 镜面下角度兼容性（deg） | ±20.5 | ±22 |
| 尺寸（宽 × 高 × 深）（mm） | 397 × 449.3 × 106 | 416 × 424 × 108 |
| 重量（kg） | 19 | 12.4 |
| 系列通用规格 | ||
| 功率 | 35 W | |
| 防护等级（EN 60529） | IP55 | |
| 电源 | 24 VDC，3 A | |
| 连接方式 | 40G 光纤 | |
| 数字量输出 | 光耦输入输出 | |
典型应用
半导体
晶圆表面检测、薄膜结构观察、缺陷快速定位。
新能源
极片、隔膜、涂层及大平面材料的快速建图。
精密加工
大尺寸精密表面、加工纹理与局部异常分析。
材料研究
玻璃、薄膜、复合材料等样品的结构与形貌分析。