Marsurf3D MS KFR-51L
| 测量模式 | PSI / VSI / 明场 |
| 光源 | 白光绿光双光源 LED |
| 影像系统 | 1100×1100 |
| 角度调整 | ±10°手动 |
| 纵向扫描范围 | 0-10mm |
| 粗糙度纵向测量重复性 | 0.01nm（PSI 模式） |
| 台阶高度测量示值误差 | <0.3%（VSI 模式） |
| 可测样品反射率 | 0.1%-100% |
| 尺寸（mm） | 900 × 700 × 1450 |
Marsurf3D MS KFR-51F
| 测量模式 | PSI / VSI / 光谱共焦扫描 / 超景深测量 |
| 光源 | 白光绿光双光源 LED / 激光 |
| 影像系统 | 1920×1200 |
| 角度调整 | ±10°手动 |
| 纵向扫描范围 | 0-10mm |
| 粗糙度纵向测量重复性 | 0.01nm（PSI 模式） |
| 台阶高度测量示值误差 | <0.3%（VSI 模式） |
| 可测样品反射率 | 0.1%-100% |
| 尺寸（mm） | 800 × 600 × 1500 |